ПО Thermo Scientific NanoBuilder

Расширенное описание

Программное обеспечение NanoBuilder

ПО для быстрого прототипирования, используемое с двухлучевыми системами для систематического планирования и создания многослойных наноустройств.

Программное обеспечение для быстрого прототипирования NanoBuilder

Программное обеспечение Thermo Scientific NanoBuilder — это инструмент для систематического планирования и создания многослойных наноустройств. Процесс строится на разделении CAD-файлов на упорядоченные проекты, что упрощает формирование сложных структур, создание которых ранее было трудоемким или вовсе невозможным. NanoBuilder обеспечивает точное формирование крупномасштабных и сложных наноструктур на нескольких участках, поддерживая все процессы литографии систем ФИП-СЭМ: ионное травление, ионное травление с напуском газа, а также процессы осаждения материалов под действием ионного или электронного пучков.

Ключевые особенности ПО для быстрого прототипирования NanoBuilder

Полная автоматизация

Полностью автоматизированное выполнение заданий, включая перемещение предметного столика, процессы травления и осаждения материалов.

Оптимизация работы ФИП и GIS

Максимально эффективное использование систем фокусированного ионного пучка и систем напуска газа.

Прототипирование на базе CAD

Создание наноструктур напрямую на основе чертежей и моделей из систем автоматизированного проектирования (CAD).

Совмещение и контроль

Автоматизированное выравнивание и контроль дрейфа пучка в процессе работы.

Планирование последовательностей

Возможность планирования всех этапов и последовательностей формирования структур на обычном офисном ПК с помощью программного обеспечения Thermo Scientific NanoArchitect.