МОДЕЛЬ 1051 TEM MILL (установка для подготовки образцов для трансмиссионной электронной микроскопии)

Брошюры с информацией

Расширенное описание

TEM MILL (установка для подготовки образцов для трансмиссионной электронной микроскопии)

МОДЕЛЬ 1051

Современная система ионного травления и полировки, обеспечивающая надёжную и высокопроизводительную подготовку образцов. Компактная, точная и стабильная, она последовательно производит высококачественные образцы для трансмиссионной электронной микроскопии (TEM) с большими электронно-прозрачными участками из широкого спектра материалов.

• Две независимо регулируемые ионные трубки TrueFocus
• Высокоэнергетический режим для быстрого травления; низкоэнергетический режим для полировки образца
• Ионный источник сохраняет малый диаметр пучка в широком диапазоне рабочих энергий (100 эВ – 10 кэВ)
• Фарадеевы чашки для прямого измерения тока пучка каждой ионной трубки
• Регулируемый 10-дюймовый сенсорный экран с удобным интерфейсом для простой настройки параметров травления
• Независимое управление подачей газа к каждому ионному источнику
• Регулируемый угол травления от –15° до +10°
• Держатель образца и загрузочная станция с возможностью перемещения по X-Y (опция)
• Непосредственное наблюдение и захват изображений во время травления
• Вращение или качание образца с последовательностью обработки ионным пучком
• Автоматическое завершение процесса по времени, температуре или лазерному фотодетектору (опция)
• Охлаждаемая жидким азотом платформа для образца (опция)
• Капсула для переноса образца в вакууме или инертной газовой среде (опция)

ИОННОЕ ТРАВЛЕНИЕ
Ионное травление используется для образцов в физических науках с целью уменьшения их толщины до состояния, прозрачного для электронов. Аргон, инертный газ, ионизируется и затем ускоряется к поверхности образца. За счёт переноса импульса сталкивающиеся ионы выбивают материал с поверхности образца с контролируемой скоростью.

Продвинутая подготовка образцов
Для многих современных материалов анализ методом просвечивающей электронной микроскопии (TEM) является лучшей техникой для изучения структуры и свойств материалов. Модель Fischione 1051 TEM Mill — это отличный инструмент для создания тонких, прозрачных для электронов образцов, необходимых для TEM-изображений и анализа.

Ионное травление с низкими углами падения в сочетании с работой источника ионов на низкой энергии минимизирует облучение и нагрев образца. Поскольку такая техника обеспечивает равномерное истончение разнородных материалов, низкоугловое травление особенно полезно при подготовке многослойных или композитных материалов, а также поперечных TEM-образцов (XTEM).

Безопасное крепление образца
Дизайн держателя образца TEM Mill позволяет легко загружать образец. Держатель позволяет проводить двустороннее травление до 0° без затемнения образца. Поскольку образец зажимается в держателе, исключается возможность его загрязнения клеем. Платформа загрузочной станции обеспечивает удобное позиционирование образца в держателе.

Регулируемый держатель и загрузочная станция X-Y (опция)
Дополнительно можно приобрести держатель образца и загрузочную станцию с возможностью регулировки по осям X-Y. Если интересующая область смещена относительно оси вращения, можно отрегулировать положение образца по X-Y для оптимизации травления.

Быстрая передача образцов
TEM Mill оснащён вакуумным загрузочным шлюзом для быстрой замены образца. Шлюз эргономично спроектирован: просто поднимите крышку, чтобы загрузить держатель образца на платформу. После закрытия крышки вакуум обеспечивает её фиксацию во время ионного травления. Электронно управляемый подъёмник перемещает образец в позицию травления. По завершении процесса держатель возвращается в загрузочный шлюз и остаётся под вакуумом до момента вентиляции пользователем. Вентиляция занимает всего несколько секунд, после чего образец можно быстро перенести в держатель TEM, минимизируя риск загрязнения окружающей средой.

Вакуумная или инертная капсула для переноса (опция)
Опциональная вакуумная капсула позволяет переносить образец в TEM под вакуумом или в инертной газовой среде.

Лёгкая загрузка образцов
Уникальный зажим держателя образца позволяет просто загружать образец и проводить двустороннее травление до 0° без затемнения. На изображении слева показан стандартный держатель образца с закреплённой сеткой диаметром 3 мм с помощью зажимов держателя. Установка образца в держатель осуществляется очень просто: поместите образец на рычаг загрузочной станции, откройте зажим и сдвиньте рычаг вперёд.

Загрузочный шлюз
Загрузочный шлюз закрыт (слева) и открыт (справа).

Вакуумная камера
Вакуумная камера TEM Mill поддерживается под постоянным вакуумом во время работы. Загрузочный шлюз изолирует высокое давление вакуума в камере от окружающей среды при замене образца, обеспечивая оптимальные вакуумные условия.

Точное регулирование угла
Ионные источники наклоняются для установки необходимого угла фрезерования. Диапазон непрерывной регулировки углов наклона ионного источника составляет от −15° до +10°. Этот расширенный диапазон наклона позволяет обрабатывать образцы, закрепленные на решетках с прорезями. Углы ионных источников регулируются с помощью левых и правых органов управления ионным источником.

Можно использовать один или оба ионных источника TrueFocus. Если используются оба источника, углы пучков можно регулировать независимо. Также можно проводить ионное фрезерование одной или обеих поверхностей образца. При одновременном воздействии двух ионных пучков на одну поверхность скорость фрезерования удваивается; эта возможность полезна для таких операций, как истончение с обратной стороны или планарная полировка образцов. Если источники направлены на обе поверхности одновременно, предотвращается повторное осаждение выщелоченного материала.

Автоматическая регулировка угла фрезерования (опция)
Опциональная функция автоматической регулировки угла фрезерования через сенсорный экран позволяет создавать многоступенчатые последовательности фрезерования с автоматической корректировкой углов на протяжении всего процесса.

Интегрированное охлаждение стола (опция)
Хотя фрезерование под малыми углами с низкой энергией ионного пучка уменьшает нагрев образца, для термочувствительных образцов может потребоваться дополнительное охлаждение. Охлаждение стола жидким азотом эффективно устраняет тепловые артефакты.

Система жидкого азота TEM Mill имеет интегрированный и заблокированный к корпусу Dewar, расположенный рядом с оператором для удобного доступа. Доступны две опции Dewar: стандартная — для применения с 3–5 часами охлаждения при ионном фрезеровании, и расширенная — для работы более 12 часов в криогенных условиях. Температура непрерывно отображается на сенсорном экране.

Программируемая температура
TEM Mill позволяет задавать и поддерживать определённую температуру от комнатной до криогенной. По завершении фрезерования температура стола автоматически повышается до комнатной перед вентиляцией, чтобы избежать образования инея и загрязнения образца.
Программируемый термозащитный порог позволяет деактивировать ионные источники, если жидкий азот в Dewar закончился.

Автоматическое завершение процесса
Процесс ионного фрезерования может автоматически завершаться по времени, температуре или с использованием опциональной лазерной фотодетекции.

• Время: таймер позволяет фрезерованию продолжаться заданное время и затем отключает питание ионных источников. Образец остаётся под вакуумом до вентиляции загрузочного шлюза.
• Температура: термозащита системы охлаждения останавливает процесс при достижении предустановленной температуры стола.
• Автозавершение (опция): лазерный источник и фотодетектор контролируют прохождение света через образец. Программируемая чувствительность автоматически останавливает процесс, когда образец становится прозрачным.

Наблюдение за образцом in situ

Процесс ионного фрезерования можно контролировать in situ, то есть прямо в позиции фрезерования, с использованием любого из опционных микроскопов. Окно для наблюдения защищено шторкой, предотвращающей осаждение выщелоченного материала, которое могло бы мешать визуализации образца.

Стереомикроскоп (опция)

Стереомикроскоп с увеличением 7–45X улучшает наблюдение за образцом. Длинное рабочее расстояние позволяет наблюдать образец in situ во время фрезерования.

Микроскоп высокого увеличения (опция)

TEM Mill может быть оснащён микроскопом с увеличением 1,960X, соединённым с CMOS-камерой и видеомонитором, что позволяет наблюдать образцы и фиксировать изображения in situ во время фрезерования. Эта система идеально подходит для подготовки специфических участков образцов.

Освещение образца

Светильник, расположенный под образцом, обеспечивает регулируемое пользователем проходящее (трансмиссионное) освещение. Как высокоувеличительный, так и стереомикроскоп имеют источники света, обеспечивающие регулируемое сверху (отражённое) освещение образца.

Управление через сенсорный экран
Параметры фрезерования задаются через 10-дюймовый сенсорный экран, который можно настроить по высоте и углу обзора. С сенсорного экрана вы можете управлять широким спектром параметров прибора, включая:

• энергию ионного пучка,
• угол фрезерования,
• движение образца,
• позиционирование образца,
• завершение процесса.

Для автоматической работы без постоянного контроля можно программировать последовательность фрезерования. Типичный подход: сначала выполняется быстрое фрезерование для удаления больших объёмов материала, затем — снижение скорости для полировки тонкого участка. Эти последовательности можно сохранять и использовать повторно.

Во время работы на сенсорном экране отображается прогресс фрезерования и текущий статус прибора в реальном времени.

Расширенные функции включают инструменты для управления данными образцов, обслуживания и лог-файлов, а также хранения изображений. Доступ к конфигурации прибора, административным и диагностическим инструментам, а также логам и файлам обслуживания регулируется уровнем пользователя и требует ввода учетных данных.

Индикатор состояния системы (опция)
Опциональная световая колонна позволяет видеть состояние системы на расстоянии.

ЭРГОНОМИЧНЫЙ СЕНСОРНЫЙ ЭКРАН
Параметры фрезерования вводятся через 10-дюймовый сенсорный экран. Экран можно физически настроить по высоте, а также наклонять или поворачивать для удобного угла обзора.

Автоматическое управление подачей газа
Два регулятора массового расхода обеспечивают независимое и автоматическое регулирование подачи рабочего газа для ионных источников. Алгоритм управления газом поддерживает стабильность ионного пучка при широком диапазоне параметров фрезерования ионного источника. В качестве рабочего газа используется аргон ультра-высокой чистоты (99,999%).

Полностью интегрированная сухая вакуумная система
Интегрированная вакуумная система включает турбомолекулярный насос с приводом от многоступенчатого диафрагменного насоса. Эта безмасляная система обеспечивает чистую среду для обработки образцов. Поскольку требования к газу для ионного источника TrueFocus малы, турбомолекулярный насос производительностью 70 л/с обеспечивает рабочий вакуум системы около 5 × 10⁻⁴ мбар. Уровень вакуума измеряется полным диапазоном холодного катодного датчика и непрерывно отображается на сенсорном экране.

Минимальное техническое обслуживание
Благодаря высокой эффективности ионизации, техническое обслуживание источника TrueFocus минимально, а компоненты имеют очень долгий срок службы. Материал, выбиваемый из ионного источника, незначителен, что минимизирует как загрязнение образца, так и необходимость обслуживания компонентов. Автоматическая заслонка предотвращает накопление выбитого материала на окне наблюдения. Все компоненты системы легко доступны для рутинной очистки.