Estonia
en
Manufacturer:Thermo Fisher Scientific, США
Настольный сканирующий (растровый) электронный микроскоп Phenom XL G2
Manufacturer:Thermo Fisher Scientific, США
Настольный сканирующий (растровый) электронный микроскоп для анализа и контроля качества.
Технические характеристики
|
Технический параметр |
Значение |
|
Изображение |
Оптическое увеличение диапазон: 3–16x |
|
Электронное увеличение |
диапазон: 160–200,000x |
|
Оптическое освещение |
Яркое поле / темное поле |
|
Электронное освещение |
Долговечный термионный источник (CeB₆) есколько токов пучка |
|
Напряжение ускорения |
По умолчанию: 5 кВ, 10 кВ и 15 кВ Режим расширенного режима: настраиваемый диапазон от 4,8 кВ до 20,5 кВ для изображений и анализа |
|
Уровни вакуума |
Низкий - средний - высокий |
|
Разрешение |
<10 нм |
|
Стандартный детектор |
Стандартный детектор отраженных электронов |
|
Дополнительно |
Детектор вторичных электронов, детектор спектроскопии с энергодисперсионной разрешающей способностью |
|
Цифровое обнаружение изображения
|
Оптическая Проприетарная высокоразрешающая цветная навигационная камера, снимок в один кадр Электронное Высокочувствительный детектор отраженных электронов (композиционные и топографические режимы) |
|
Форматы изображения |
JPEG, TIFF, PNG |
|
Опции разрешения изображения |
960 x 600, 1920 x 1200, 3840 x 2400 и 7680 x 4800 пикселей |
|
Хранение данных |
USB-флеш-накопитель, сеть, рабочая станция с SSD |
|
Стол |
Компьютеризированный моторизованный стол по X и Y |
Система
|
Габариты и вес |
|
|
Модуль изображения |
316(шир.) x 587(гл.) x 625(выс.) мм, 75 кг |
|
Вакуумный насос с диафрагмой |
145(шир.) x 220(гл.) x 213(выс.) мм, 4.5 кг |
|
Источник питания |
260(шир.) x 260(гл.) x 85(выс.) мм, 2.3 кг |
|
Монитор |
(24”) 531(шир.) x 180(гл.) x 511(выс.) мм, 5.6 кг |
|
Рабочая станция |
Мощная рабочая станция с SSD-накопителем 93(шир.) x 293(гл.) x 290(выс.) мм, 5.6 кг |
|
Размер образца |
Макс. 100 мм x 100 мм (до 36 x 12 мм прижимных шипов) Макс. 40 мм высота (дополнительно до 65 мм) |
|
Область сканирования |
50 мм x 50 мм 100 мм x 100 мм (дополнительно) |
|
Время загрузки образца |
Оптическое <5 с Электронное <60 с |
|
Требования к месту установки и окружающие условия |
Температура 15°C ~ 30°C (59°F ~ 86°F) Влажность Между 20% и 80% относительной влажности Электропитание Однофазное переменное ток 100–240 Вольт, 50/60 Гц, среднее потребление 163 Вт, максимальное 348 Вт |
|
Рекомендуемый размер стола |
150 x 75 см, нагрузочная способность 150 кг 3.5 |
EDS
|
Тип детектора |
Детектор с кремниевым дрейфом (SDD) Термoэлектрическое охлаждение (без LN₂) |
|
Активная площадь детектора |
25 мм² |
|
Окно для рентгеновских лучей |
Очень тонкое окно из нитрида кремния (Si₃N₄), позволяющее обнаружение элементов от B до Am |
|
Энергетическое разрешение |
Mn Kα ≤132 эВ |
|
Возможности обработки |
Многоканальный анализатор с 2048 каналами при 10 эВ/канал |
|
Макс. скорость ввода |
300,000 cps |
|
Аппаратная интеграция |
Полностью встроенная |
|
Программное обеспечение |
Интегрировано в пользовательский интерфейс Phenom Интегрировано управление колонной и стадией Автоматическое определение пиков Итеративная деконволюция пиков Индикатор уверенности анализа Функции экспорта: CSV, JPG, TIFF, ELID, EMSA |
|
Отчет |
Формат .doc |
Картирование элементов и линейное сканирование
|
Выбор элементов |
Индивидуальные карты, заданные пользователем, плюс изображение обратного рассеяния и смешанное изображение Изображение обратного рассеяния и смешанный диапазон |
|
Выбранная область |
Любой размер, прямоугольная |
|
Диапазон разрешения картирования |
32 x 20 до 960 x 600 пикселей |
|
Диапазон времени задержки пикселя |
1–500 мс |
|
Диапазон разрешения линейного сканирования |
16–512 пикселей |
|
Диапазон времени задержки линейного сканирования |
10–500 мс |
|
Отчет |
Формат .docx |
Вторичный электронный детектор SED
|
Тип детектора |
Everhart Thornley |
|
Автоматизированные движения |
В 4 направлениях: Z (высота), R (вращение), T (наклон) и x’ (x-прима) |
|
Максимальный размер образца |
Наклон 90° Ø ≤30 мм; высота ≤32 мм Наклон < 45° Ø ≤70 мм; высота ≤32 мм |
|
Угол наклона |
От -15° до +90° |
|
Вращение |
Непрерывное 360° |
Расширенное описание
Thermo Scientific Phenom XL G2 настольный сканирующий электронный микроскоп (СЭМ) автоматизирует процесс контроля качества, предоставляя точные, воспроизводимые результаты и освобождая время для выполнения ценной работы.
Простой в освоении интерфейс позволяет быстро начать работу и идеально подходит для широкого спектра применений. Настольный СЭМ Phenom XL G2 обеспечивает полноэкранные изображения и среднее время получения изображения всего 40 секунд, что в три раза быстрее, чем у других настольных СЭМ на рынке. Система может анализировать крупные образцы размером до 100 x 100 мм с разрешением 10 нанометров, отображая все детали. Патентованный механизм вентиляции/загрузки обеспечивает быстрый цикл вентиляции/загрузки, обеспечивая высокую производительность.
Пользовательский интерфейс основан на проверенной простоте использования, уже примененной в успешных настольных СЭМ Thermo Scientific. Интерактивная информационная панель и структура наложения делают работу с СЭМ очень простой, и интерфейс позволяет как опытным, так и новым пользователям быстро ознакомиться с системой с минимальной подготовкой.
Стандартный детектор в настольном СЭМ Phenom XL G2 - это четырехсегментный детектор обратного рассеяния электронов (BSD), который обеспечивает четкие изображения и предоставляет информацию о химическом контрасте. Система может быть оснащена двумя дополнительными детекторами: полностью интегрированной системой энергодисперсионной спектроскопии (EDS) для элементного анализа и детектором вторичных электронов (SED), который позволяет выполнять поверхностно-чувствительную визуализацию. Также доступна платформа приложений ProSuite. С программным обеспечением ProSuite и приложениями, такими как ParticleMetric, PoroMetric, FiberMetric и 3D Roughness Reconstruction, вы можете проводить дополнительный анализ образцов.
